Разработка, производство и поставка приборов газового анализа
Автоматизированный газобаллонный шкаф GASPOD — это инновационное решение для безопасного хранения и непрерывной подачи инертных, горючих и токсичных газов в линию производственного процесса с сохранением их исходной чистоты.
Модульная конструкция и широкий выбор опций шкафа GASPOD адаптированы под любые задачи заказчика, обеспечивая максимальную безопасность и удобство эксплуатации.
В зависимости от требований заказчика, шкафы могут вмещать до четырёх 50-литровых баллонов с рабочим давлением до 300 бар, объединённых современной газораспределительной панелью, подобранной под конкретный вид газа. Для работы с опасными газами предусмотрены полностью автоматизированные панели, управляемые единой интеллектуальной системой.
В составе системы управления GASPOD - контроллер, панель Touch-Screen 10 дюймов с сенсорным управлением, панель регулировки давления, система контроля утечек и пожарной безопасности.
Оператор получает информацию о текущем состоянии шкафа в реальном времени, в том числе данные о давлении, весе баллонов, состоянии клапанов и дверей, а также аварийные сигналы с подробными визуальными и звуковыми уведомлениями. Все события фиксируются в защищённом от удаления журнале на microSD-карте.
Шкафы поддерживают интеграцию в системы автоматизации предприятия через Ethernet (Modbus TCP), а также оснащены внешними дискретными входами/выходами для подключения к системам безопасности производственного здания. Многоступенчатая защита от несанкционированного доступа, автоматическое поддержание давления, экстренное отключение подачи газа при нештатных ситуациях, вакуумирование и продувка азотом при замене баллона — всё это реализовано для вашей безопасности и комфорта.
Для удобства эксплуатации в конструкции газобаллонного шкафа предусмотрены дверные замки для защиты от постороннего вмешательства, откидной пандус из нержавеющей стали для размещения баллонов, большое смотровое окно для визуализации контроля. Возможно вручную управлять работой клапанов.
Каждая панель проходит гелиевый тест на герметичность после сборки.
| Наименование параметра | Значения |
|---|---|
| Применяемые газы | |
| Газы - предшественники (прекурсоры) кремния |
Дихлорсилан, SiH2Cl2; Дисилан, Si2H6; Герман, GeH4; Метилсилан, CH3SiH3; Силан, SiH4; Тетрахлорид кремния, SiCl4; Тетрафторид германия, GeF4; Тетрафторид кремния, SiF4; Трихлорсилан, HSiCl3 |
| Травильные газы |
Бромид водорода, HBr; Хлорид водорода, HCl; Хлорид бора, BCl3; Фторид водорода, HF; Хлор, Cl2; Трифторид азота, NF3; Гексафторид серы, SF6; Гексафторэтан, C2F6; Тетрафторметан, CF4 Октафторпропан, C3F8; Октафторциклобутан (RC318), C4F8; Трифторметан, CHF3 |
| Газы-диффузанты |
Арсин, AsH3; Диборан, B2H6; Фосфин, PH3; Трифторид бора, BF3; Трифторид бора-11, (обогащённый) 11BF3; Триметил бора, B(CH3)3 |
| Атмосферные газы |
Аргон, Ar; Азот, N2; Гелий, He; Водород, H2; Кислород, O2 |
| Газы-реагенты |
Аммиак, NH3; Углекислый газ, CO2; Угарный газ, CO; Сернистый газ, SO2; Гексафторид вольфрама, WF6; Закись азота, N2O |
| Коррозийные газы |
Бромид водорода, HBr; Хлорид водорода, HCl; Хлор, Cl2 |
| Электрические параметры | |
| Электропитание (два ввода, основной и резервный) | 220 В (50±1) Гц |
| Энергопотребление |
98 Вт (без обогрева); не более 2098 Вт (с обогревом) |
| Подключение газового баллона с рабочим (процессным) газом | |
| Максимальное давление | 150 Бар |
| Тип подключения к баллону | DN1 |
| Чистота газа не хуже | 0,6 |
| Подключение газового баллона с азотом (продувочный газ) | |
| Максимальное давление | 200 Бар |
| Тип подключения к баллону | DN9 |
| Чистота газа не хуже | 0,6 |
| Подача рабочего газа с панели в линию процесса | |
| Максимальное давление | 7 Бар |
| Подключение |
Коаксиальный трубопровод под приварку. Внутренняя труба ¼, наружная ½. Типоразмер по стандарту АСТМ А269 |
| Максимальный поток | 5 ст.л/мин |
| Азот для питания эжектора | |
| Давление на входе | 4,8 Бар |
| Расход | не более 5,1 м3/ч |
| Подключение | ¼ VCR (M) |
| Чистота газа | не хуже 99,9 % об |
| Линия сбора эжектора | |
| Подключение | ½ VCR (M) |
| Линия сбора продувочного азота | |
| Подключение | ¼ VCR (M) |
| Подключение сжатого воздуха / азота | |
| Подключение | 6 мм |
| Расход | не более 10 л/мин (зависит от интенсивности работы) |
| Класс сжатого воздуха | не хуже 1,4 ГОСТ Р ИСО 8573-1-2016 |
| Спринклер пожаротушения | |
| Фланец подключения | G ½ наружная |
| Давление | 0,2 МПа(и) - 1,2 МПа(и) расход 120 л/мин при 0,2 МПа(и) |
| Вытяжная вентиляция | |
| Фланец подключения | ДУ 150 |
| Давление | от 425 м3/час |
| Массогабаритные характеристики | |
| Габаритные размеры (ВхШхГ) | 2550х610х610 мм |
| Масса шкафа без баллонов | не более 250 кг |
| Материал корпуса | Сталь с порошковой окраской |
| Класс защиты | IP 54 |
| Зона обслуживания | не менее 1м спереди, не менее 0,5м сверху |
| Количество опор | 8 ножек |
| Параметры окружающей среды | |
| Температура | от 5 до 30 °С (от 5 до 60 °С хранение) |
| Давление | 700-1300 мбар |
| Влажность | 0-80% относительной влажности |
Примечание: конструкция и технические характеристики могут изменяться в зависимости от технического задания.
Вся документация и сертификаты высылается отдельно по запросу.
